- 干式真空泵是未來工業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)
產(chǎn)品介紹
干式真空泵是未來工業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)。雖然目前還沒有使用,但是除了價(jià)格昂貴外,還有一些企業(yè)看不到干式真空泵用戶缺乏所帶來的經(jīng)濟(jì)效益。
與這些不同類型的干式真空泵,我們一直渴望減少其物理尺寸。然而,這是不符合真空泵抽吸速度,因?yàn)檩腿÷实捏w積比例的真空泵,真空泵。小的物理尺寸意味著體積很小。當(dāng)然,另一個(gè)重要影響因素真空泵速度更快。為了使小型真空泵抽吸速度和大型真空泵抽吸速度是一致的,需要增加速度。有兩種方法可以改變轉(zhuǎn)速的真空泵,一是改變電源的頻率,使用變頻器;第二個(gè)是變速箱的比例變化。其中,使用變頻器的好處是提供一個(gè)閉環(huán)控制,但容易造成過載下的扭矩?fù)p失。改變齒輪傳動(dòng)比的齒輪箱是一個(gè)非常經(jīng)濟(jì)的方法,當(dāng)然,它只能提供單一的速度是無法控制的。
現(xiàn)在,你可以看到干式真空泵有這么多不同的設(shè)計(jì),每一個(gè)都有自己的特點(diǎn)和優(yōu)缺點(diǎn)。歷史上,使用成本一直是影響真空泵選擇的一個(gè)重要因素。越來越多的真空泵用戶意識(shí)到真空泵的穩(wěn)定性也需要考慮。由于真空泵的意外誤差,會(huì)降低機(jī)器的效率,影響硅片的生產(chǎn)和輸送,甚至損壞晶片廢料和其他零件。由于螺桿的設(shè)計(jì)采用單階段設(shè)計(jì),與多級(jí)泵相比,所用零件的數(shù)量可減少百分之六十。這對(duì)于穩(wěn)定性和未來的維護(hù)成本是一個(gè)很大的優(yōu)勢(shì)。