干式真空泵的冷卻方式介紹 　　干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用于發(fā)展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段，如日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。 　　為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有螺桿式真空泵、多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。 　　干式真空泵工作時(shí)，相互之間無摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。由于螺桿制成變螺距結(jié)構(gòu)，與等螺距結(jié)構(gòu)相比，極限真空更高，而消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。 　　很多泵轉(zhuǎn)子卡死的原因是吸入含有粉塵及結(jié)晶的物質(zhì)、高溫發(fā)生聚合的物質(zhì)、熱敏性物質(zhì)的升華造成轉(zhuǎn)子間的縫隙被堵死，另外一個(gè)原因是由于長期運(yùn)轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子會(huì)由于熱脹冷縮而發(fā)生形變，造成泵的卡死。 　　干式真空泵的冷卻方式： 　　目前市面上的干泵多用夾套冷卻水對(duì)轉(zhuǎn)子進(jìn)行冷卻。 　　而有的立式螺桿真空泵的冷卻系統(tǒng)更獨(dú)特，比如在泵內(nèi)增加了螺桿內(nèi)部冷卻劑冷卻及直接氣體冷卻，很好的維持內(nèi)表面的溫度，不至于溫度過高或過低，始終維持在一個(gè)合適的溫度，以防被抽的熱敏性物質(zhì)分解，及高溫易聚合的物質(zhì)，比如HCN及MMA生產(chǎn)企業(yè)就比較適合。